Sistema de depósito láser pulsado

Descripción del producto: pedido en línea del sistema de depósito láser pulsado

Sistema de depósito láser pulsado
(Sistema de deposición láser de pulso)
País de origen: Estados Unidos
Introducción del sistema de depósito láser pulsado pld:
El PLD es un Estado de plasma en forma de Plume formado por la introducción de un láser pulsado en la cavidad de vacío a través de una ventana de cuarzo sintético para irradiar sobre el objetivo formador de película, que absorbe energía de alta densidad después de la irradiación, y luego se acumula en un sustrato situado enfrente para formar película. El método PLD puede obtener nuevos materiales sintéticos con composición y estructura de Estados cuasi - estables termodinámicamente teóricos.


Nuestro sistema PLD tiene una relación rendimiento - precio, configuración de parámetros técnicos específicos:
1. objetivos: 6 en número, 1 - 2 pulgadas de tamaño, que se pueden girar automáticamente cuando se iluminan con láser, y la selección del objetivo se puede controlar a través del motor de paso;
2. sustrato: placa de calentamiento de platino adecuada para el ambiente de oxígeno, tamaño de 2 pulgadas, temperatura de calentamiento de hasta 1200 grados celsius, diferencia de temperatura inferior al 3%, el sustrato puede girar durante el calentamiento, la presión del ambiente de trabajo es de 300mtorr;
3. fuente de alimentación de calefacción del sustrato, a 1200 grados;
4. cavidad de la Cámara formadora de película de vacío súper alto: acero inoxidable sus304, pulido electrolítico de la superficie interior, vacío inferior a 5E - 8 pa;
5. Sala de manipulación de muestras: acero inoxidable sus304, pulido electrolítico de la superficie interior, vacío inferior a 5E - 5 pa;
6. sistema de escape: bomba molecular y bomba mecánica seca;
7. válvula: se utiliza una válvula de deflector de vacío de ultra alta altitud;
8. detección de vacío: medidor de vacío;
9. dos juegos de vías de gas: controlado por un medidor de flujo de gas;
10. sistema de monitoreo de crecimiento de película delgada: se adopta el rheed diferencial de escaneo;
11. sistema de software de monitoreo: monitoreo y configuración de la temperatura del sustrato, rotación del sustrato y el objetivo, reemplazo del objetivo, etc.;
12. varios terminales de introducción y medición de temperatura de corriente;
13. otras estructuras: todo tipo de mesas de desplazamiento de vacío súper alto, barras de transmisión magnética, brida de vacío súper alto, arandelas de sellado de vacío súper alto, fuelle de vacío súper alto, etc.

Los usuarios compran sistemas PLD importados puros de alto rendimiento de grado de investigación con el menor dinero.