Controlador de espesor de película

NegociableActualización en04/29

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Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

El controlador de espesor de película inficon, el * autor de la tecnología de control de recubrimiento de película, ahora le proporciona un * instrumento de alto valor de producción y bajo costo de propiedad. $r $n no importa si necesita controlar la calificación del producto o para proyectos de investigación científica. Inficon XTC / 3 puede * adaptarse a sus requisitos. $r$n*， Control práctico de la velocidad de recubrimiento de una sola capa y varias capas

Detalles del producto

Controlador de espesor de película

El controlador de recubrimiento de película delgada XTC / 3 para procesos de recubrimiento de una sola capa y varias capas está equipado con la tecnología modellock1, que proporciona una función confiable de prevención de saltos de modo y puede lograr una calidad de recubrimiento consistente. Con el controlador de recubrimiento de película XTC / 3, la velocidad de recubrimiento y el espesor de la película se pueden controlar con alta precisión, y tiene la capacidad de controlar casi cualquier número de películas. Fácil instalación y fiabilidad estable, lo que garantiza una alta productividad.

Punto especial

■ Hay modelos de película única y película múltiple

■ la tecnología modellock evita errores de espesor de película causados por saltos de modo

■ soporte para inficon Crystal 12TM, CrystalSix? Y cambio automático de cristal de doble sonda para alta productividad

■ El modelo de película múltiple XTC / 3M admite hasta 99 procesos tecnológicos, 999 películas, 32 recubrimientos, 2

Sensores y dos fuentes

■ El modelo de película única XTC / 3s admite hasta 9 recubrimientos, 2 sensores y 2 fuentes

■ pantalla gráfica LCD TFT fácil de leer

■ película y nombre del proceso para facilitar la recuperación, * y descripción

■ con software de conexión Ethernet

¿■ ¿ Windows que se ejecuta solo (sin computadora) o en pc? Opciones de software

■ reemplazo plug - and - Play del controlador inficon XTC / 2 (limitado a la función XTC / 2 y al Grupo de instrucciones)

Controlador de espesor de película

Especificaciones técnicas

Funciones, parámetros o especificaciones técnicas	Película monocapa XTC / 3s	Película multicapa XTC / 3M
Cambios de frecuencia resueltos por la medición	+ 0,05 Hz	+ 0,05 Hz
Intervalo de medición	0,25 segundos	0,25 segundos
Resolución / medición de espesor y velocidad	0.06A, En herramientas / densidad = 100	0.06A, En herramientas / densidad = 100
	Frecuencia base = 6m Hz	Frecuencia base = 6m Hz
Soporte para la conversión xtal2	sí	sí
Comunicación informática	Estándar rs232, opción Ethernet TCP / IP	Estándar rs232, opción Ethernet TCP / IP
Gran tasa de baudios RS232	115,2 mil porte	115,2 mil porte
Número de relés	12 estándares, sin ejemplos	12 criterios, ejemplos disponibles
Número de funciones de relé programables	1	1
Función de cada relé	1	1
Calificación de tensión del relé	30 V DC o 30 V AC RMS o 30 V DC	30 V DC o 30 V AC RMS o 30 V DC
	Pico 42v, a 2,5 a	Pico 42v, a 2,5 a
Número de entradas	8TTL, 24 V DC grande	8TTL, 24 V DC grande
Número de funciones de entrada programables	1. no hay ejemplos	1. ejemplo
Número de entrada del Registrador	1	1
Fuente de alimentación manual / controlador portátil	sí	sí
Ventilador de escape	Nada	Nada
Modo de prueba	sí	sí
Retraso del bloqueador de luz	sí	sí
Herramientas secundarias	sí	sí
Gran frecuencia de cambio de fase permitida	1,0 M Hz	1,0 M Hz
Tamaño del Gabinete	Estante 1 / 2, altura 2u	Estante 1 / 2, altura 2u
Resolución de visualización de velocidad y espesor de película	0,1 segundos, de 0,0 a 99,9a / s; 1a / segundo, de 100 a 999a / s	0,1 segundos, de 0,0 a 99,9a / s; 1a / segundo, de 100 a 999a / s
	Resolución del espesor de la película de visualización = 1a	Resolución del espesor de la película de visualización = 1a
Seleccionar el recubrimiento a través de la entrada	sí	No
Lenguaje de guía del usuario	Inglés, chino	Inglés, chino
Anillo de control	PID	PID
Inicio de sesión de datos	sí	sí
Función de calidad y estabilidad	sí	sí
Muestras y mantenimiento	sí	sí
Selección del crisol	sí	sí
Entrada de retroalimentación del crisol	sí	sí
Selección de la polo de voltaje de control	Sí, + / - 2,5, 5, 10 voltios	Sí, + / - 2,5, 5, 10 voltios
	Resolución de 15 bits	Resolución de 15 bits
Código de bloqueo del programa	sí	sí
Proceso / recubrimiento de la etiqueta del usuario	No	sí
Compatibilidad de comunicación XTC / 2 RS232	Sí (limitado)	Sí (limitado)

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