Controlador de espesor de película

IC multipropósito / 5Controlador de espesor de películaIdeal para controlar la tasa de deposición de película y el espesor de la película en sistemas de múltiples fuentes, crisoles, materiales o procesos. El IC / 5 puede satisfacer las necesidades incluso de aplicaciones complejas, exigentes y especiales. Es bueno en el control de procesos, funciones lógicas, capacidad de almacenamiento de programas y películas, gestión de datos de procesos, especialmente el control de la velocidad de deposición y el espesor de la película.

Principales parámetros de rendimiento

◆ resolución de frecuencia: 0,03 Hz a 6,0 MHz

◆ resolución de masa: 0375 ng / CM 2

◆ frecuencia del chip de inducción: 2,5, 3, 5, 6, 9,5, 10 MHz

◆ visualización del espesor de la película: 0000 a 999,9 K & aring;

◆ tasa de formación de película: 00,0 a 999 ANG / S (0 a 9,99 μm / min)

◆ número de películas: 1 a 999

◆ visualización gráfica: 256 × 64 lcd, iluminación de fondo CCFL

◆ configuración completa

◆ una máquina principal mdc360c, un conjunto de Osciladores y cables, una sonda y 5 chips

◆ tamaño del motor principal: 16,98 × 3,47 × 9.355 (unidad: pulgadas)

Ancho del panel frontal 18,98 pulgadas

Control integral del proceso

El IC / 5 tiene una amplia gama de funciones, que permiten iniciar el proceso de evacuación, controlar las válvulas, habilitar calentadores de base, etc. Estas mejoras hacen que el sistema no necesite estar equipado con instrumentos auxiliares, lo que reduce la complejidad y el costo del sistema. La función lógica y de control del IC / 5 contiene 100 Estados lógicos programables; Las placas de circuito de relés I / o y ttl ofrecen hasta 24 salidas de relés, 28 entradas ttl, 14 salidas ttl, 20 conteos y 20 cronos. El Estado lógico se puede combinar con la entrada o salida externa. Cada Estado puede contener hasta cinco funciones y enlazarse con lógica booleana. El IC / 5 puede proporcionar seis salidas analógicas valorables, tasas de depósito, espesor de película o desviaciones de las tasas de depósito para el control de la fuente o la salida de la grabadora gráfica.

Recetas de procesos fuertes y gestión de datos

El controlador de película IC / 5 proporciona varias funciones y opciones para ayudar a los usuarios a gestionar eficientemente las recetas y datos del proceso:

Rico almacenamiento a bordo - hasta 50 procesos y 250 películas. Permitir el acceso inmediato a los datos del proceso y los archivos de prescripción que utiliza. Esta entrada es particularmente valiosa para procesos complejos que contienen muchas películas, sistemas de recubrimiento que funcionan en múltiples procesos tecnológicos y aplicaciones como el desarrollo o el desarrollo de procesos.

Opción de accionamiento de disco – para el almacenamiento ilimitado de datos de proceso y recetas. Opción de software de edición fuera de línea – para escribir o introducir datos en una computadora (no en un panel IC / 5). La programación con este software es más conveniente y efectiva, especialmente para procesos de múltiples capas y materiales. Registro de datos - la información del proceso relevante (espesor de la película final, tasa media de depósito, número de operaciones, número de capas de película, etc.) se puede registrar automáticamente en el puerto de comunicación de control remoto, puerto de la impresora o disco en formato ascii. Con la opción de accionamiento de disco, IC / 5 puede guardar los datos en un formato desplegado, lo que simplifica el almacenamiento y procesamiento de datos del proceso. El registro de datos puede realizar fácilmente el análisis posterior a la operación y el efecto de corrección rápida. Para la producción que sigue la certificación iso9000 o qa, el seguimiento del proceso es *.

Auto Z –Recubrimiento fino para materiales multicapa

La tecnología auto Z de IC / 5 para determinar automáticamente la relación Z mejora la precisión de control del espesor de la película de recubrimiento y la tasa de depósito, y los usuarios ya no necesitan calcular la relación de resistencia acústica (z).³. cuando se deposita una variedad de materiales en un cristal, la relación Z cambia con la proporción del material en el cristal, por lo que la variación del valor Z es dinámica. La relación Z en proceso de corrección continua de auto Z. Esta función es especialmente importante para mantener un espesor preciso de la película y la tasa de deposición durante la deposición de materiales estratificados o de aleación en un solo cristal.

³Auto z - EEUU 5112642

AUTO TUNE –Para la configuración rápida

La función auto Tune del IC / 5 elimina los pasos de repetidas tentaciones y ahorra tiempo de configuración, lo que permite determinar automáticamente rápidamente la constante de circuito cerrado de control de retroalimentación de la Fuente. Auto Tune selecciona los mejores algoritmos de varios algoritmos de control – incluidos los algoritmos de EIP de tres parámetros (proporcional, integral, diferencial) – para lograr un control estable de una variedad de fuentes.

Medición de múltiples sensores- -Para alta repetibilidad

Para algunos recubrimientos ópticos y otras aplicaciones, la repetibilidad y la uniformidad son particularmente importantes. El controlador IC / 5 puede integrar la medición de hasta ocho sensores para reducir el efecto de distribución desigual de la fuente y garantizar una buena * propiedad de la tasa de depósito de película y el espesor final de la película entre la operación de recubrimiento anterior y la siguiente. Cuando el sustrato gira sobre el soporte planetario, el IC / 5 recopila datos simultáneamente desde la posición de cada uno de los sensores, asegurando que la información obtenida representa la distribución de la fuente actual. En comparación con el controlador de un solo sensor, la medición de múltiples sensores mejora en gran medida la repetibilidad del espesor de la película debido al control de la tasa de deposición agregada fija de la película y la independencia de las fluctuaciones en la distribución de la Fuente. Cuando el modo de distribución de la fuente cambia, el IC / 5 ajusta adecuadamente la potencia. Aunque la tasa de depósito en cualquier sensor puede cambiar significativamente, la tasa de depósito total se mantiene sin cambios. La cantidad total de materiales depositados en cada sustrato está controlada con precisión; La precisión total del espesor de la película se puede aumentar de dos a tres veces en comparación con el controlador de un solo sensor. Debido a los cambios en las características causados por la detección precisa del desgaste de la fuente, la medición de múltiples sensores puede ayudarle:

¿¿ cuándo se espera que se agregue otra fuente?

Determinar el mejor valor de configuración de parámetros como el escaneo, el alcance y la vibración de alta frecuencia de la pistola electrónica.

Preparar una mejor receta de proceso

Debido a que todos los sensores están vinculados a un controlador IC / 5, los requisitos de espacio para el Gabinete son pequeños, y su velocidad de corrección es de tres a cinco veces más rápida que la antigua estructura de combinación de múltiples controladores / computadoras.

Coprecipitación precisa

El IC / 5 controla el recubrimiento simultáneo de ambos materiales. Contiene un parámetro de relación programado que controla la relación de la aleación en una tasa de depósito variable, así como un parámetro de sensibilidad cruzada (o ajuste de cadena) que compensa automáticamente el recubrimiento del material de una fuente a un sensor utilizado para controlar otra Fuente. La función auto Z también contribuye a la codeposición del IC / 5, manteniendo la precisión del espesor de la película cuando se mezclan diferentes materiales en un cristal.

Fácil de cargar en el dispositivo existente

El IC/5Controlador de espesor de película Equipado con un cable de adaptación, es fácil de instalar en el dispositivo existente y reemplazar el antiguo controlador de película de inficon u otras fábricas de fabricación. Por favor, hable con nuestro Departamento para obtener más detalles.