Sistema de recubrimiento por evaporación de haz de electrones

Sistema de recubrimiento por evaporación de haz de electrones
(Sistema de evaporador de haz electrónico)
Introducción del instrumento:
Fabricante profesional estadounidense con más de 20 años de experiencia en: equipos de evaporación de haz de electrones, equipos de pulverización de magnetrón, equipos de evaporación térmica, etc. Hay los siguientes modos funcionales:
electron beam evaporation， Evaporación de haz de electrones;
resistive evaporation， Evaporación de Resistencia térmica;
ion beam assisted deposition (IBAD)， Recubrimiento de evaporación asistido por haz de iones;
effusion cell， Fuente de diarrea.


Parámetros técnicos:
Vacum chamber: 304 cavidad cilíndrica de acero inoxidable con un diámetro estándar de 18 pulgadas y 24 pulgadas – escaled para coincidir con la aplicación específica;
Pumping: bomba Molecular o bomba de condensación;
Load lock: Transmisión manual o automática, adecuada para pequeñas piezas de varias formas y tamaños a discos de 200 mm de tamaño, transmisión de fondo de alto vacío;
Control de procesos: interfaz de control automático PC / plc, control de menú, adquisición de datos y control remoto;
In - situ Monitoring & control: monitoreo del espesor de la película qcm, monitoreo del espesor de la película óptica;
Análisis de gases residuales de rga;
Anexo fijo: una sola pieza, múltiples piezas, pinzas de sustrato planetario;
Subtate holders: se puede calentar, enfriar, sesgar, girar;
Ion source: pre - limpieza del sustrato, modificación de la superficie nanométrica.

Técnicas de deposición:
Magnetron Sputtering RF, DC, or Pulsed-DC， Con pulverización de radiofrecuencia, pulverización de corriente continua, pulverización de corriente continua pulsada;
Electron Beam Evaporation， Evaporación de haz de electrones;
Thermal Evaporation， Evaporación térmica;
Organic Evaporation for OLED/ PLED and Organic Electronics， Evaporación orgánica (para OLED / pled y electrónica orgánica);
Glancing Angle Depostion (GLAD), Depósito de ángulo inclinado
Cathodic Arc Plasma Deposition, Deposición asistida por plasma católico.