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Elipsometro

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Descripción general

Resumen del elipsometro uvisel 2: está equipado con un sistema de visualización de muestras (tecnología) para observar cualquier superficie de muestra. La combinación de ocho tamaños de manchas de luz permite localizar con precisión las manchas en varias áreas a medir con un tamaño limitado en la muestra. La Plataforma de software profesional deltapsi2, con una operación simple e intuitiva, proporciona una variedad de funciones de medición y modelado optimizadas para el análisis preciso de películas finas.

Detalles del producto

El uvisel 2 está equipado con un sistema de visualización de muestras (tecnología) para observar cualquier superficie de muestra. La combinación de ocho tamaños de manchas de luz permite localizar con precisión las manchas en varias áreas a medir con un tamaño limitado en la muestra.

Uvisel 2 integra la pequeña tecnología de manchas de luz sin diferencia de color Zui en el mundo, con un tamaño de manchas de hasta 35 micras, lo que todavía puede cubrir un gran rango espectral al realizar mediciones de microzonas.

La Plataforma de software profesional deltapsi2, con una operación simple e intuitiva, proporciona una variedad de funciones optimizadas de medición y modelado para el análisis preciso de la película.

Uvisel 2 es un espectrómetro de polarización elíptica de mejor rendimiento que todos los demás modelos. Hereda el rendimiento de alta precisión y alta sensibilidad de Zui demostrado por el espectrómetro clásico de polarización elíptica uvisel, y después del rediseño, el rendimiento se ha mejorado considerablemente.

Línea de productos de medición de película delgada

El método de polarización elíptica es una técnica de medición no destructiva óptica que puede caracterizar con precisión películas, superficies e interfaces. El espectrómetro de polarización elíptica se utiliza principalmente para medir el espesor de la película (de 1 a 30 micras) y las constantes ópticas (n, k).

Espectrómetro de polarización elíptica

La tecnología de * tiene la capacidad de caracterización de película de * y puede proporcionar mediciones de alta sensibilidad y precisión de zui.

In situ y en líneaElipsometro

Monitoreo y control de alta precisión y alta velocidad del proceso de depósito y grabado de películas finas.

ElipsometroControl de calidad de las películas

¡Nueva tecnología: ¡ medición de un solo clic del espesor de la película y las constantes ópticas!

Sistema de medición a gran escala

Un sistema especialmente diseñado para la industria de dispositivos de visualización puede procesar sustratos de visualización de séptima generación.

software

Delta psi2 es una nueva generación de software desarrollado a partir de una interfaz gráfica de usuario universal (gui). El objetivo de diseño es proporcionar una interacción intuitiva e integral entre el usuario y el instrumento. Este software de procesamiento multitarea tiene versatilidad, se puede utilizar para configuraciones fuera de posición e in situ y puede conducir completamente automático.