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Zhengzhou chengyue Science Instrument co., Ltd.
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Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivo

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Descripción general

Introducción simple: el pequeño medidor de recubrimiento de chorro de magnetrón de un solo objetivo es un equipo de recubrimiento de chorro de magnetrón rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa, que tiene las características de miniaturización y estandarización. Los objetivos de control magnético se pueden seleccionar de 1 y 2 pulgadas, y los clientes pueden elegir de forma independiente de acuerdo con el tamaño del sustrato recubierto.

Detalles del producto

Introducción detallada:

El pequeño medidor de recubrimiento de chorro de magnetrón de un solo objetivo es un equipo de recubrimiento de chorro de magnetrón rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa, que tiene las características de miniaturización y estandarización. Los objetivos de control magnético se pueden seleccionar de 1 pulgada y 2 pulgadas, y los clientes pueden elegir de forma independiente de acuerdo con el tamaño del sustrato recubierto; La fuente de alimentación es una fuente de alimentación de corriente continua de 150w, que se puede utilizar para el recubrimiento por pulverización metálica. El medidor de recubrimiento está equipado con una interfaz de ventilación para conectar gas protector, y si el cliente necesita conectar gas mixto, puede ponerse en contacto con el personal para configurar un medidor de flujo de alta calidad de alta precisión para satisfacer las necesidades experimentales. El instrumento está equipado de serie con un grupo avanzado de Bombas moleculares de turbina, con un vacío límite de hasta 1,0e - 5pa, mientras que hay otros tipos de Bombas moleculares disponibles para la compra.

Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivoámbito de aplicación:

El equipo se puede utilizar para preparar películas ferroeléctricas de una sola capa, películas conductoras, películas de aleación, etc. En comparación con equipos similares, el recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivo, después de un diseño miniaturizado, altamente integrado y pequeño tamaño, se puede colocar sobre la Mesa para su uso, y es un equipo ideal para la preparación de películas de materiales en laboratorio.

Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivoParámetros técnicos:

Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivo

Mesa de muestras

Tamaño

φ138mm

Precisión del control de temperatura

±1Grados Celsius

Temperatura de calentamiento

* alto500Grados Celsius

Velocidad de rotación

1-20rpmAjustable

Cabezal de pulverización de magnetrón

Cantidad

2” x11 ", 2"Opcional)

Especificaciones de la máquina de refrigeración por agua

10L/minEnfriador de agua circulante con velocidad de flujo

Modo de enfriamiento

Refrigeración por agua

Cavidad de vacío

Tamaño de la cavidad

φ180mm × 215 mm

Ventana de Observación

Transparencia omnidireccional

Material de cavidad

Cuarzo de alta pureza

Modo de apertura

Desmontaje de la cubierta superior

Sistema de vacío

Modelo de producto

CY-GZK103-A

Interfaz de extracción de aire

KF40

Bomba molecular

CY-600

Interfaz de escape

KF16

Bomba de polo delantero

Bomba giratoria

Medición al vacío

Medidor de vacío compuesto

Vacío límite

1.0E-5Pa

Fuente de alimentación

AC;220V 50/60Hz

Tasa de extracción

Bombas moleculares:600L/S Bomba de película giratoria:1.1L/S Rendimiento integral de bombeo:20El vacío de minutos puede alcanzar:1.0E-3Pa

Configuración de la fuente de alimentación

Cantidad

Fuente de alimentación de corriente continua× 1

* gran potencia de salida

150W

Otros

Tensión de alimentación

AC220V,50Hz

Tamaño de toda la máquina

500 mm × 350 mm × 400 mm

Potencia de toda la máquina

1,7kw (grupo de bomba de vacío 1,5kw + máquina local 0,2kw)

Peso de toda la máquina

30kg