El pequeño medidor de recubrimiento de chorro de magnetrón de un solo objetivo es un equipo de recubrimiento de chorro de magnetrón rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa, que tiene las características de miniaturización y estandarización. Los objetivos de control magnético se pueden seleccionar de 1 pulgada y 2 pulgadas, y los clientes pueden elegir de forma independiente de acuerdo con el tamaño del sustrato recubierto; La fuente de alimentación es una fuente de alimentación de corriente continua de 150w, que se puede utilizar para el recubrimiento por pulverización metálica. El medidor de recubrimiento está equipado con una interfaz de ventilación para conectar gas protector, y si el cliente necesita conectar gas mixto, puede ponerse en contacto con el personal para configurar un medidor de flujo de alta calidad de alta precisión para satisfacer las necesidades experimentales. El instrumento está equipado de serie con un grupo avanzado de Bombas moleculares de turbina, con un vacío límite de hasta 1,0e - 5pa, mientras que hay otros tipos de Bombas moleculares disponibles para la compra.
Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivoámbito de aplicación:
El equipo se puede utilizar para preparar películas ferroeléctricas de una sola capa, películas conductoras, películas de aleación, etc. En comparación con equipos similares, el recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivo, después de un diseño miniaturizado, altamente integrado y pequeño tamaño, se puede colocar sobre la Mesa para su uso, y es un equipo ideal para la preparación de películas de materiales en laboratorio.
Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivoParámetros técnicos:
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Pequeño recubrimiento de pulverización de magnetrón de un solo objetivo
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Mesa de muestras
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Tamaño
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φ138mm
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Precisión del control de temperatura
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±1Grados Celsius
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Temperatura de calentamiento
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* alto500Grados Celsius
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Velocidad de rotación
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1-20rpmAjustable
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Cabezal de pulverización de magnetrón
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Cantidad
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2” x1(1 ", 2"Opcional)
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Especificaciones de la máquina de refrigeración por agua
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10L/minEnfriador de agua circulante con velocidad de flujo
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Modo de enfriamiento
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Refrigeración por agua
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Cavidad de vacío
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Tamaño de la cavidad
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φ180mm × 215 mm
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Ventana de Observación
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Transparencia omnidireccional
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Material de cavidad
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Cuarzo de alta pureza
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Modo de apertura
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Desmontaje de la cubierta superior
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Sistema de vacío
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Modelo de producto
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CY-GZK103-A
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Interfaz de extracción de aire
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KF40
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Bomba molecular
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CY-600
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Interfaz de escape
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KF16
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Bomba de polo delantero
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Bomba giratoria
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Medición al vacío
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Medidor de vacío compuesto
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Vacío límite
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1.0E-5Pa
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Fuente de alimentación
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AC;220V 50/60Hz
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Tasa de extracción
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Bombas moleculares:600L/S Bomba de película giratoria:1.1L/S Rendimiento integral de bombeo:20El vacío de minutos puede alcanzar:1.0E-3Pa
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Configuración de la fuente de alimentación
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Cantidad
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Fuente de alimentación de corriente continua× 1
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* gran potencia de salida
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150W
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Otros
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Tensión de alimentación
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AC220V,50Hz
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Tamaño de toda la máquina
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500 mm × 350 mm × 400 mm
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Potencia de toda la máquina
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1,7kw (grupo de bomba de vacío 1,5kw + máquina local 0,2kw)
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Peso de toda la máquina
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30kg
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