Análisis de silano, espectrómetro de gases de ionización de helio

El análisis de Silano de helio por GC - 9560 - Hg es adecuado para la detección de trazas de impurezas en gases de alta pureza y gases de la industria electrónica, con una pequeña concentración de detección Z de hasta 5 ppb. El instrumento está equipado con un detector de ionización de helio de alta sensibilidad, que utiliza la tecnología de corte central de huaai * y las válvulas de entrada de muestra tienen un circuito de gas de protección de soplado; Toda la máquina está diseñada con una caja de múltiples columnas y está equipada con un sistema de corrección automática de la presión de inyección para garantizar la cantidad de inyección de muestras con diferentes bases *. Los productos han ganado sucesivamente los títulos de proyecto de nivel a para la transformación de logros de alta tecnología en shanghai, nuevos productos clave en shanghai, plan antorcha de Shanghai y excelentes productos de instrumentos científicos 2009.

El Silano es un importante producto de nuevo material, ampliamente utilizado en pantallas planas lcd, semiconductores, energía solar y otras industrias. con el desarrollo de semiconductores y otras industrias en china, la demanda nacional de Silano está aumentando día a día, pero debido a que la tecnología de producción nacional de Silano está en su infancia, cómo analizar la pureza del Silano es un Tema que varios fabricantes deben enfrentar.
Como todos sabemos, el análisis de gases de alta pureza es un proceso complejo y una de las dificultades del análisis cromatográfico; Debido a la particularidad de sus propiedades físicas, el análisis del Silano es aún más difícil, no sólo requiere detectores altamente sensibles, sino que también resuelve el problema de la combustión de oxígeno del silano.Cromatógrafo de gas ionizado de helio GC - 9560 - HgSuperando muchas dificultades técnicas en el proceso de análisis de silano, se utiliza un detector de ionización de helio de alta sensibilidad, equipado con un sistema especial de muestreo de silano, y se completa bien el análisis de trazas de impurezas de grado ppb en silano.

Criterios aplicables:

• GB / T 15909 - 2009 "silano de gas para la industria electrónica"

Análisis de Silano de helio ionizado por GC - 9560 - Hg cromatógrafo de gasesAdecuado para la detección de impurezas trazas en gases de alta pureza y gases de la industria electrónica, la concentración de detección pequeña de Zui puede alcanzar 5ppb. El instrumento está equipado con un detector de ionización de helio altamente sensible, que utiliza la tecnología de corte central de huaai * y las válvulas de entrada de muestra equipadas son válvulas de entrada con un circuito de gas de protección de soplado; Toda la máquina adopta un diseño de caja de múltiples columnas, diferentes columnas de cromatografía pueden controlar la temperatura por separado, Zui optimiza las condiciones de separación con grandes límites y facilita el tratamiento de envejecimiento de diferentes columnas de cromatografía por separado, lo que facilita el mantenimiento del instrumento; El instrumento está equipado con un sistema de corrección automática de la presión de inyección, que supera los errores de análisis causados por la cantidad de inyección incorrecta de diferentes bases debido a los diferentes pesos moleculares.

I,Análisis de Silano de helio ionizado por GC - 9560 - Hg cromatógrafo de gasesVentajas de rendimiento:
La industria del gas es la industria básica de la economía nacional y la "sangre" de la producción industrial. con el rápido desarrollo de la economía nacional, la demanda de gas de alta pureza y gas para la industria electrónica también ha crecido rápidamente. La detección de impurezas trazas es un eslabón clave en la producción de gases de alta pureza y gases de la industria electrónica, y el análisis de impurezas trazas siempre ha sido una dificultad en el análisis cromatográfico, y los detectores cromatográficos tradicionales, como la conductividad térmica, no son competentes para el análisis de gases de alta pureza.
El detector de ionización de helio de descarga pulsada (pdhid) es un detector universal con una sensibilidad extremadamente alta y una alta respuesta a casi todos los compuestos inorgánicos y orgánicos, especialmente adecuado para el análisis de gases de alta pureza, y es un detector capaz de detectar hasta el nivel ng / g (ppb). Las nuevas normas nacionales estipulan que el uso de detectores de ionización de helio reemplaza a los detectores originales, como la conductividad térmica, y la norma nacional de huaai chromatology para llevar a cabo las principales tareas de redacción, la Ley de análisis de gas de ionización de helio, también se está elaborando y pronto se anunciará oficialmente su implementación.

Límite de detección de impurezas de gas en Silano por pdhid (ppb)

H2	O2Ar	N2	CO	CH4	CO2	C2	C3	SimHn
10	25	50	50	20	20	20	20	50

En segundo lugar,GC-9560-HGConfiguración del sistema:

(1) GC - 9560 - Hg detector de ionización de helio (2) detector de ionización de helio (pdhid)

(3) sistema central de corte (4) sistema electrónico de muestreo de gas

(5) sistema de adsorción y reducción de oxígeno (6) purificador de helio

(7) válvula de reducción de presión especial para el transporte de gas (8) válvula de muestreo especial sin volumen muerto
(9) filtro de carga de gas (10) filtro de muestra

(11) columna cromatográfica (12) gas estándar
(13) helio de alta pureza (pureza superior al 99999%) (14) trabajo de cromatografía de contracontrol de la versión GC - 9560v4.0

• Tecnología de corte central para lograr un análisis completo del gas:
  El cromatógrafo de gas ionizado de helio GC - 9560 - Hg utiliza la tecnología de corte central y soplado inverso de múltiples válvulas y columnas. el sistema está compuesto por múltiples válvulas de diez vías de soplado y múltiples cromatógrafos. su proceso de alimentación, conmutación, Corte y soplado inverso se controla automáticamente a través del programa de tiempo establecido por la estación de trabajo.

• Válvula de diez vías de barrido
  GC-9560-HGEquipado con una válvula de diez vías con circuito de gas protegido producida por vici importado original, el plano de la válvula siempre está en una atmósfera de carga de gas, evitando que el gas de tiempo y espacio entre en la muestra y el cambio, mejorando en gran medida la sensibilidad y precisión de la detección.
• Tecnología de columnas cromatográficas especialmente procesadas
  (1) el tubo de la columna cromatográfica está hecho de acero inoxidable 316l, y la pared interior del tubo está pasivada para evitar problemas como la adsorción y el arrastre de monóxido de carbono.
  (2) los soportes de las columnas cromatográficas han sido tratados especialmente para evitar problemas como la adsorción de oxígeno.
  (3) la columna preclasificada utiliza la tecnología nacional de columna rellena en miniatura obtenida por la cromatografía huaai para mejorar de manera integral la separación de muestras, teniendo en cuenta la separación, estabilidad y rapidez.

• Sistema de separación de cajas de varias columnas
  Las muestras de gas tienen diversas formas y, al mismo tiempo, una gran variedad de impurezas, lo que requiere múltiples columnas cromatográficas diferentes para completar la separación de todas las impurezas en las muestras de gas. Debido a que la temperatura de trabajo de Zui Jia varía de una columna a otra, es difícil encontrar la temperatura de trabajo de Zui Jia adecuada para el trabajo de diferentes columnas en la misma caja de columna. El GC - 9560 - Hg adopta un diseño de caja de múltiples columnas, lo que resuelve eficazmente el problema de que diferentes columnas de cromatografía requieren diferentes temperaturas de trabajo.
  En el mantenimiento diario del instrumento, debido a que las temperaturas de activación de las columnas cromatográficas de diferentes soportes, como el Tamiz molecular 5a, varían, si se envejece en la misma caja de columnas, es necesario quitar las columnas cromatográficas que no son tolerantes a altas temperaturas y luego activarlas por separado. El diseño de la Caja de columna múltiple de GC - 9560 - Hg puede resolver eficazmente los problemas anteriores, y diferentes columnas de columna se pueden activar por separado en diferentes cajas de columna, evitando la necesidad de desmontar y montar columnas de columna en el mantenimiento diario del instrumento.
• Purificador de helio HP - 2:
  GC-9560-HGCon helio de alta pureza como gas portador, la pureza del helio afecta directamente la sensibilidad de detección de impurezas de todo el instrumento. Los ensayos han demostrado que la pureza del gas portador utilizado en el análisis de gas de alta pureza es al menos un orden de magnitud superior a la pureza de fondo de la muestra de gas.
  El Purificador de helio tipo HP - 2 es un purificador de gas especialmente transportado producido por vici. su matriz de purificación es una aleación absorbente no volátil. hay una película de óxido en la superficie de las partículas adsorbentes que debe activarse por calentamiento. el proceso de activación debe completarse en un ambiente de vacío o gas inerte. esto permite que el helio se propague libremente entre ellos, evitando la formación de capas de purificación de oxígeno y también puede realizar la adsorción de gases impuros. El material adsorbente de HP tiene una buena estabilidad térmica, incluyendo dos rangos de control de temperatura.
  Gases purificables: he, ar, ne, kr, xe, RN
  Zui gran presión operativa: 1000psi
  Eliminación de gas: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Etc.
  Concentración residual: ≤ 10 ppb
• Sistema de corrección de presión de inyección
  El cromatógrafo tradicional utiliza el método de controlar el flujo en la salida de la válvula de entrada de muestra para controlar el volumen de entrada de muestra en el tubo cuantitativo. las pruebas han demostrado que este método tiene un gran error de análisis.
  Tomemos como ejemplo el análisis del hidrógeno de alta pureza: el gas estándar es seis impurezas configuradas en helio, mientras que el gas de muestra es seis impurezas en hidrógeno; Debido a que el peso molecular del helio y el hidrógeno es diferente, la cantidad de muestra en el mismo flujo no es * Situación
  GC-9560-HGEquipado con un sistema de corrección de presión para superar el problema de la cantidad de inyección incorrecta causada por diferentes confianza y garantizar la precisión de los datos.
• Válvula de muestreo sin volumen muerto
  El GC - 9560 - Hg está equipado con una válvula de muestreo especial sin volumen muerto, utilizando un método de muestreo con protección de barrido, evitando efectivamente el problema de los residuos de aire y reduciendo el impacto del proceso de muestreo en el análisis a un nivel bajo de zui.
• Válvula de reducción de presión especial para el transporte de gas
  Debido a la existencia de un gran número de volúmenes muertos, las válvulas de reducción de presión ordinarias afectan directamente la pureza del gas portador después de la salida a través de la válvula de reducción de presión, lo que resulta en una alta concentración de impurezas de fondo en el gas portador, lo que afecta el límite de detección de todo el sistema.
  El cromatógrafo de gas ionizado de helio GC - 9560 - Hg está equipado con una válvula reductora de presión de gas de acero inoxidable con función de Estabilización de tensión en dos etapas, lo que mejora en gran medida la estabilidad de la presión, garantiza la estabilidad de la línea de base, pero también reduce el volumen muerto en el cuerpo de la válvula y mejora aún más la sensibilidad de detección.

GC-9560-HGMapa de efectos de análisis de: