Interferómetro de espejo plano rld10 de renisho, Reino Unido

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Descripción general

El interferómetro de espejo plano rld10 de ranishao, Reino Unido $r $nlld10 Interferómetro de espejo plano $r $n es adecuado para aplicaciones de plataforma xy.

Detalles del producto

Interferómetro de espejo plano rld10

El interferómetro de espejo plano es adecuado para aplicaciones de plataforma xy.

La cabeza emisora rld10 contiene un grupo de espejos de interferencia, * sistema de detección de rayas multicanal, esclusa láser y espejo auxiliar de alineación láser incorporado. Se ofrecen dos modelos de cabeza de lanzamiento rld10 de 0 ° y 90 °.

Características y ventajas

Solución de doble ejeEl sistema de espejo plano de dos ejes es la solución ideal para la aplicación de la Plataforma xy.
Alta resoluciónEn comparación con el sistema de espejo piramidal, el sistema de espejo plano también se puede utilizar para aplicaciones que requieren una mayor resolución.
Entorno sensibleTambién se proporciona una cabeza de lanzamiento de Interferómetro de espejo plano de modelo de baja potencia. Adecuado para aplicaciones cuyos requisitos de consumo de energía están por debajo de la calificación estándar rld (es decir, menos de 2 w).

RLD发射头和镜组

Especificaciones

Recorrido por eje	0 m a 1 m
Resolución (con configuración rlu)	Cuadratura simulada = lambda / 4 (158 nm) Ortonormal digital = 10 nm Resolución rpi20 = 38,6 pm
Error no lineal del sistema * (sde) * sin interfaz	< ± 2,5 nm por debajo de 50 mm / S y con una intensidad de señal superior al 70% < ± 7,5 nm a 1 M / S y con una intensidad de señal superior al 50%
velocidad	Hasta 1 M / s

Para las aplicaciones no al vacío, para mantener la precisión en condiciones ambientales variables, se necesita algún tipo de compensación del índice de refracción. Renisho ofrece un sistema de compensación de ondas cuadradas en tiempo real rcu10 para compensar los cambios ambientales.

Si se selecciona la interfaz paralela rpi20 y se integra en el sistema rle, se puede alcanzar una resolución de 38,6 metros. La interfaz puede recibir señales analógicas diferenciales 1 vpp sinusoidal / coseno y proporcionar un formato de salida paralelo. Para más detalles sobre el anexo, consulte el sistema de compensación rcu10 y la interfaz de la regla láser.

Interferómetro de espejo plano rld10 de renisho, Reino Unido

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