Interferómetro diferencial rld10 de ranishao, Reino Unido

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Descripción general

El interferómetro diferencial rld10 de ranishao, Reino unido, permite medir cambios de posición con respecto al objeto de referencia definido.

Detalles del producto

Interferómetro diferencial rld10

El interferómetro diferencial permite medir cambios de posición con respecto al objeto de referencia definido.

El emisor diferencial tiene un diseño óptico de * que permite un rendimiento SDE extremadamente bajo. El espejo auxiliar de alineación láser incorporado puede lograr el ajuste del ángulo de inclinación y giro durante el proceso de configuración, mejorando así el proceso de alineación (solo para aplicaciones de espejo plano).

La cabeza de lanzamiento rld10 - x3 - di se puede instalar en la pared exterior de la cavidad de trabajo a través de un simple soporte de tres agujas. El Camino óptico se puede corregir sin entrar en la cavidad de trabajo, el espejo auxiliar de colimación láser incorporado puede ajustar de forma independiente la inclinación y el giro del haz de referencia y medición, y el diseño del sistema de instalación permite desmontar la cabeza emisora y ajustar la posición de la cabeza emisora, lo que tiene un impacto mínimo en la colimación del sistema.

Características y ventajas

Excelente rendimiento de mediciónPrecisión de Estabilización de frecuencia ppb, error de período ultra bajo, resolución de salida de 38,6 pm.
Configuración diferencial- medir el desplazamiento de la Plataforma de movimiento respecto a la columna de montaje, eliminando así errores de modo comunes, como el Movimiento de la pared lateral de la zona de trabajo asociado a fluctuaciones ambientales.
Ajuste rápido y colimación- - utilizar cuatro espejos auxiliares de colimación láser incorporados para realizar fácilmente el ajuste de colimación fuera de la Cámara de vacío, eliminando así las tolerancia de instalación de la Cámara de vacío y el Grupo de espejos.

Especificaciones

Recorrido por eje	0 m - 1 m
Resolución (con configuración rlu)	Cuadratura simulada = lambda / 4 (158 nm) Ortonormal digital = 10 nm Resolución rpi20 = 38,6 pm
Error no lineal del sistema * (sde) * sin interfaz	< ± 1 nm por debajo de 50 mm / S y con una intensidad de señal superior al 70% < ± 6 nm a 1 M / S y con una intensidad de señal superior al 50%
velocidad	Hasta 1 M / s

Por lo general, se utiliza renisho rlu20 para configurar la cabeza emisora del interferómetro diferencial. La Alta estabilidad de la fuente láser rlu20 combinada con el alto rendimiento de la cabeza emisora del interferómetro diferencial se convertirá sin duda en una opción ideal para aplicaciones en cámaras de vacío y otros entornos estrictamente controlados por aire acondicionado.

Interferómetro diferencial rld10 de ranishao, Reino Unido

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