Cromatógrafo de iones de helio para análisis de diclorosilano

El instrumento está equipado con un detector de ionización de helio de alta sensibilidad, que utiliza la tecnología de corte central de huaai company, y las válvulas de entrada de muestra tienen un camino de gas de protección de soplado; Toda la máquina está diseñada con una caja de múltiples columnas y está equipada con un sistema de corrección automática de la presión de inyección.

Cromatógrafo de iones de helio de diclorosilanoEl instrumento está equipado con un detector de ionización de helio de alta sensibilidad, que utiliza la tecnología de corte central de huaai company, y las válvulas de entrada de muestra tienen un camino de gas de protección de soplado; Toda la máquina está diseñada con una caja de múltiples columnas y está equipada con un sistema de corrección automática de la presión de inyección para garantizar la cantidad de inyección de muestras con diferentes bases. Los productos han ganado sucesivamente los títulos de proyecto de nivel a para la transformación de logros de alta tecnología en shanghai, nuevos productos clave en shanghai, plan antorcha de Shanghai y productos de instrumentos científicos 2009.

Nombre del proyecto			Indicadores
Triclorosilicato de hidrógeno (sihcl)3) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤			10
Contenido (monoclorosilano + cloruro de hidrógeno) (sih3Contenido de cloro + HCl ", en cloruro de hidrógeno (fracción de volumen) / L0-6 ≤			50
Nitrógeno (n2) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤			1
(oxígeno + argón) (o2+ ar) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤			1
Contenido de monóxido de carbono (co) (fracción de volumen) / L0-6 ≤			1
Hidrógeno (h2) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤			10
Dióxido de carbono (co2) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤			1
Contenido total de hidrocarburos (thc), en metano (ch)4) Metro (fracción de volumen) / L0-6 ≤			1
Contenido de elementos metálicos y otros elementos	(boron + aluminio) (b + al) contenido / (μg / kg) ≤		0.1
	(fósforo + arsénico) (p + as) contenido / (μg / kg) ≤		0.3
	Contenido de galio (ga) / (μg / kg) ≤		0.1
	Contenido de antimonio (sb) / (μg / kg) ≤		0.1
	Contenido de indio (in) / (μg / kg) ≤		0.1
	Contenido de calcio (ca) / (μg / kg) ≤		1
	Contenido de cromo (cr) / (μg / kg) ≤		1
	Contenido de hierro (fe) / (μg / kg) ≤		5
	Contenido de potasio (k) / (μg / kg) ≤		1
	Contenido de sodio (na) / (μg / kg) ≤		0.2
	Contenido de níquel (ni) / (μg / kg) ≤		1
	Contenido de molibdeno (mo) / (μg / kg) ≤		0.1
	Contenido de manganeso (manganeso) / (μg / kg) ≤		0.2
	Contenido de cobre (cobre) / (μg / kg) ≤		0.2
	Contenido de cadmio (cd) / (μg / kg) ≤		0.5
	Contenido de cobalto (co) / (μg / kg) ≤		0.5
	Contenido de zinc (zinc) / (μg / kg) ≤		0.1