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Shanghai Guier Machinery Equipment Co., Ltd
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Horno tubular del sistema CVD

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Descripción general

Los hornos de tubo de vacío de la serie gr.tf detallan los hornos de tubo de vacío de la serie gr.tf, con un diseño de rendimiento razonable, que integran múltiples funciones, seguridad, fiabilidad y practicidad para lograr los resultados deseados.

Detalles del producto

GR.TFIntroducción detallada de la serie de hornos de tubo de vacío


El horno de tubo de vacío de la serie gr.tf tiene un diseño de rendimiento razonable, que integra múltiples funciones, y su seguridad, fiabilidad y practicidad logran los resultados deseados.

1. la temperatura es de 1100 ℃ - 1800 ℃, y la zona de calentamiento es de 300mm.

2. el cuerpo del horno adopta una estructura de cáscara de horno de doble capa, con ventiladores entre las cáscaras de horno de doble capa, que pueden aumentar y disminuir rápidamente la temperatura, y la temperatura de la superficie de la cáscara del horno es baja.

3. el tubo del horno adopta un tubo de cuarzo de alta pureza o un tubo de corindón, y ambos extremos están sellados con una brida de alto vacío sus304.

4. el material del horno está hecho de adsorción al vacío de fibra policristalina de alúmina importada de alta calidad, que mejora significativamente el ahorro de energía en comparación con los hornos eléctricos tradicionales de material de horno duro, y tiene una fuerte resistencia al enfriamiento repentino y al calor repentino. el horno eléctrico de 1100 ° C consta de dos partes, de las cuales la parte superior del horno puede voltear 110 ° C hacia atrás en su conjunto, y el horno eléctrico de más de 1100 ° C se integra en uno, lo que facilita la recogida y descarga de materiales experimentales y el reemplazo de tubos de horno. El elemento de calefacción utiliza alambre de resistencia sueco kangtai, barra de carbono de silicio, barra de molibdeno de silicio.

5. el sistema de control de temperatura del horno eléctrico adopta la tecnología de ajuste de inteligencia artificial, la precisión de control del instrumento es de ± 1 ° c, tiene la capacidad de ajuste eip, control inexistente, autoajuste y puede compilar varios programas de calentamiento, tiene la función de alarma de temperatura súper alta, tiene la función de corte de energía de daño del par térmico y la función de control de contraseña de parámetro incorporado.

6. la velocidad de calentamiento ≤ 30 ° C / MIN (la velocidad de calentamiento recomendada es ≤ 10 ° C / min), se puede escribir un programa de calentamiento automático de 30 secciones, controlado por silicio controlable, equipado con un voltímetro LED digital y un amperímetro.

7. opcional con interfaz de comunicación RS - 485, software de gestión de datos, con la función de registrar datos históricos y curvas de calentamiento sin papel, corregir errores de desviación de temperatura, puede gestionar múltiples equipos y análisis de diagnóstico remoto de fallas.

8. una variedad de diseños de protección de seguridad, buen rendimiento de Seguridad y larga vida útil.

9. el horno eléctrico puede bombear vacío y pasar por la atmósfera, el vacío puede alcanzar los 10 pa (bomba mecánica), y si se necesita un vacío más alto, se puede elegir la bomba molecular, alcanzando los 6.67x10 - 3pa.


Configuración estándar:

1. 304 brida de acero inoxidable 1 juego

2. 4 anillos de sellado

3. 2 tapones de horno

4. un gancho de horno

5. instrucciones, tarjetas de garantía y un conjunto de certificados

6. un tubo de cuarzo o corindón


Grupo de bomba de alto vacío (grupo de bomba molecular)


La unidad de bomba Molecular compuesta de la serie GR - 620 / GR - 500f es un equipo de adquisición de vacío súper alto limpio compuesto por Bombas moleculares compuestas de rendimiento de la serie f160 / 620 o Bombas moleculares compuestas de la serie FF - 160 / 500f, bombas de extracción de aire de etapa delantera, válvulas de descarga de aislamiento, tuberías de etapa delantera, protectores de corte de agua, fuente de alimentación de bomba molecular, sistema de detección de alto vacío (medidor de vacío compuesto), fuente de alimentación de control y así sucesivamente ensamblado en el marco. Fácil de instalar, fácil de operar, fácil de conectar y rendimiento confiable, se puede utilizar ampliamente en análisis de superficie, tecnología de aceleradores, equipos semiconductores, tecnología de plasma, fabricación de dispositivos de vacío eléctrico y tecnología de vacío en varios campos.

Rendimiento técnico de la unidad de bomba Molecular FJ - 620:

Modelo del producto

GR-620

Brida de entrada de aire

DN160LF

DN160CF

Tasa de extracción L / S (para el aire)

600

Relación de compresión N2

H2

> 109

6 & veces; 103

Se recomienda iniciar la presión

<100 Pa

Presión límite (pa)

6 & veces; 10-6

6 & veces; 10-7

Brida de escape

KF25 / KF40

Uso de rodamientos

Rodamientos mecánicos de precisión

Frecuencia de voltaje de entrada (v / hz)

220&plusmn; 20/50

Temperatura ambiente (ºc)

0 a 40

Modelo de bomba de etapa delantera

RVP-6

Revolución de trabajo nominal (rpm)

42.300

Modo de enfriamiento

Refrigeración por agua

Presión del agua de refrigeración (mpa)

0,1 - 0,2

Temperatura del agua de refrigeración ( ℃)

< 25

Método de instalación

Arbitrario

Peso (kg)

52

Long & times; Ancho & tiempo; alto

730 y veces; 520 y veces; 700

peso

117

Sistema de suministro de gas

Tanto el medidor de flujo de masa como el tanque mixto de acero inoxidable están instalados en un Gabinete móvil, que puede soportar 1000 lbs, y la configuración de flujo y la pantalla de Estado de cada canal de gas se concentran en la pantalla táctil, mientras que la curva de flujo de gas y los datos se pueden ver en tiempo real.

&middot; Rango estándar: 100 sccm, 200 sccm, 200 sccm, 500 SCCM (se puede personalizar el rango y la cantidad)

&middot; Controlador de flujo de masa:

(1) tensión de funcionamiento: AC 220V / 50hz

(2) temperatura de trabajo: 5 - 45 ℃.

(3) presión de trabajo: 3 & times; 106 Pa

(4) potencia de salida: 23w

(5) precisión: & plusmn; 1.5%FS

(6) lineal: & plusmn; (0.5-1.5)%F.S

(7) precisión de repetición: & plusmn; 0.2%F.S

(8) tiempo de respuesta: características del gas: 1 - 4 segundos, características eléctricas: 10 segundos

(9) rango de diferencia de presión de trabajo: 0,1 - 0,5 MPA

&middot; Pantalla táctil lcd:

La configuración y visualización de la ruta de aire de cada canal se concentra en la pantalla táctil, se puede seleccionar la interfaz de comunicación rs485 y el software de control de temperatura de PC para conectarse a la computadora para el control remoto.

&middot; Manómetro mecánico: rango de medición: - 0,1 - 0,15 MPA

&middot; Válvula de aguja: 316 acero inoxidable

&middot; Accesorios de tubería: la tubería de conexión interna es de 1 / 4 "tubo de politetrafluoroe y la tubería de ventilación externa es de 1 / 4" tubo de politetrafluoroe

&middot; Tanque de mezcla de gas: & phi; 80&times; 120mm

&middot; Válvula de cierre: 316 válvula de aguja de acero inoxidable & phi; 1 / 4 "

&middot; Especificaciones del producto: 600 & times; 745&times; 700mm

GR.TFModelo y especificaciones de la serie de hornos de tubo de vacío

modelo

Tamaño del tubo del horno (mm)

(PxPxH)

potencia

(KW)

temperatura

(℃)

Temperatura de la cuota

(℃)

Elemento de calefacción

voltaje

(V)

GR.TF60/11

Φ60×1000

4

1100

1000

Alambre de resistencia de contell

220

GR.TF80/11

Φ80×1000

4

1100

1000

Alambre de resistencia de contell

220

GR.TF100/11

Φ100×1000

4

1100

1000

Alambre de resistencia de contell

220

GR.TF150/11

Φ150×1000

5

1100

1000

Alambre de resistencia de contell

220

GR.TF200/11

Φ200×1000

6

1100

1000

Alambre de resistencia de contell

220

GR.TF60/14

Φ60×1000

6

1400

1300

Barra de silicio-carbono

220

GR.TF80/14

Φ80×1000

6

1400

1300

Barra de silicio-carbono

220

GR.TF100/14

Φ100×1000

7

1400

1300

Barra de silicio-carbono

220

GR.TF60/16

Φ60×1000

7

1600

1500

Barra de silicio y molibdeno

220

GR.TF80/16

Φ80×1000

7

1600

1500

Barra de silicio y molibdeno

220

GR.TF100/16

Φ100×1000

7

1600

1500

Barra de silicio y molibdeno

220

GR.TF60/18

Φ60×1000

7

1800

1700

Barra de silicio y molibdeno

220

GR.TF80/18

Φ80×1000

9

1800

1700

Barra de silicio y molibdeno

380

GR.TF100/18

Φ100×1000

9

1800

1700

Barra de silicio y molibdeno

380