• ¿¿ qué es un semiconductor?

Un semiconductor se refiere a un material con propiedades conductoras entre un conductor y un aislador a temperatura ambiente.

De acuerdo con la tecnología de fabricación, los semiconductores se pueden dividir en: dispositivos de circuitos integrados, dispositivos discretos, semiconductores fotoeléctricos, IC lógicos, IC analógicos, almacenamiento y otras categorías.

• ¿¿ qué es un chip?

Los chips, también conocidos como microcircuit, microchip, circuitos integrados (ic). Se refiere a las pastillas de silicio que contienen circuitos integrados, que son pequeñas y a menudo forman parte de computadoras u otros dispositivos electrónicos.

• Proceso de fabricación

Nota: CMP es pulido químico - mecánico*Imagen de la red

• Litografía y grabado

La fotolitografía es el proceso de transferir patrones a fotorresistentes que cubren la superficie de las pastillas de silicio semiconductoras. Estos patrones deben transferirse a las capas delgadas que componen el dispositivo debajo del fotorresistente, un proceso que llamamos grabado, es decir, grabado selectivo de la parte no enmascarada de la capa delgada.

• Método de grabado

Hay dos métodos básicos de grabado: grabado químico húmedo y grabado seco.

El mecanismo del grabado químico húmedo incluye principalmente tres etapas: el reactivo se difunde a la superficie del reactivo, la reacción química se realiza en la superficie y luego el producto de la reacción se retira de la superficie a través de la difusión. El grabado químico húmedo es más adecuado para el grabado de la superficie terrestre de polisilicio, óxidos, nitruro, metales y compuestos del Grupo III - V.

La tecnología de espectrometría de infrarrojo cercano tiene una amplia aplicación en la industria de semiconductores debido a sus ventajas por debajo de *.

• Enfoque no invasivo
• Contaminación mínima evitada
• Alta precisión y buena reproducibilidad
• No es necesario diluir la muestra
• Se puede analizar cuantitativamente
• Puede hacer tanto análisis químicos como indicadores físicos.
• El espectrómetro de infrarrojo cercano en línea con una sonda especial de fibra óptica se puede integrar en todo el sistema.

◆ caso de aplicación 1: determinación de la solución de grabado mixto ácido con espectrómetro de infrarrojo cercano

El espectro de medición de la placa de petri con un recorrido óptico de 1 mm y 4 mm es el siguiente. al observar el espectro, se puede encontrar que el ruido espectral de la placa de petri con un recorrido óptico de 4 mm a partir de 1900 nm comienza a aumentar, por lo que elegimos la placa de petri con un recorrido óptico de 1 mm para la determinación.

A través del modelado por el software Vision y la determinación del contenido de los componentes del grabado ácido Mixto y los valores analizados por los métodos convencionales de laboratorio se muestran en la siguiente tabla, se puede ver que los resultados de predicción del infrarrojo cercano son básicamente consistentes con los métodos de laboratorio, con un pequeño error.

◆ caso de aplicación 2: determinación del líquido de limpieza con espectrómetro de infrarrojo cercano en línea

La siguiente imagen muestra el uso del espectrómetro suizo wantong online NIR para monitorear continuamente el Estado del líquido de limpieza SC1 del cliente. Podemos ver que con el consumo de líquido de limpieza, NH₄El contenido de Oh disminuye gradualmente, y los clientes pueden operar el proceso de limpieza de acuerdo con la situación monitoreada.

◆ caso de aplicación 3: monitoreo dinámico del IPA alcohol propanol con espectrómetro de infrarrojo cercano en línea

El IPA propanol se utiliza como eliminador de limpieza, y las impurezas se mezclan con el disolvente durante la limpieza. Su espectro infrarrojo cercano se muestra en la siguiente imagen, y en el rango de longitud de onda de 1900 a 2000 nm, se puede ver claramente el efecto de la impurezas ekc - 265 en el espectro.

Utilizamos esta banda para construir un modelo de infrarrojo cercano de ekc - 265, y podemos ver la R del modelo.²Alcanzó los 9989 y la SEC los 00629. Con este modelo, podemos monitorear los cambios en el contenido de impurezas en el alcohol propano.

Swiss wantong ds2500Analizador y accesorios de líquidos espectrales de infrarrojo cercano

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• Tecnología espectral no destructiva
• El rango de longitud de onda es de 800 - 2200 nm, lo que permite una amplia gama de aplicaciones.
• Se puede realizar análisis cualitativos, análisis cuantitativo de múltiples componentes y análisis de tendencias en tiempo real.
• El instrumento cumple con el nivel de protección nema4x
• No se necesitan reactivos químicos, la protección del medio ambiente verde ahorra costos
• Piscina de circulación de material de Teflon