LAUDA-Noah POU

El controlador de temperatura constante del proceso termoeléctrico, especialmente personalizado para la industria de semiconductores, tiene un rango de temperatura de– 20a90 ° C

Basado en el principio de conducción de calor de partie verificado en la práctica, el sistema de control de temperatura termoeléctrica Lauda - Noah Pou puede proporcionar un control de temperatura repetible para aplicaciones de grabado por plasma. Para el control dinámico de la temperatura de la pinza estática (esc), la Pou se puede aplicar a todos los tipos de procesos de grabado.

Ahorro de energía eficiente, ahorro de espacio y control estable de la temperatura, este sistema inteligente puede mejorar perfectamente la uniformidad de wafer a wafer.